顯微鏡
sǎo miáo tòu shè diàn zǐ xiǎn wēi jìng
scanning transmission electron microscopy
掃描透射電子顯微鏡是既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡。象SEM一樣，STEM用電子束在樣品的表面掃描，但又象TEM，通過電子穿透樣品成像。STEM能夠獲得TEM所不能獲得的一些關於樣品的特殊信息。STEM技術要求較高，要非常高的真空度，並且電子學系統比TEM和SEM都要複雜。