电子能谱分析
当用一定能量的电子束、X射线或紫外光作用于试样，其表面原子不同能级的电子将激发成自由电子。收集这些电子并整理与记录它们的能量分布，就是电子能谱分析。若以X射线或紫外光为激发源作用于试样表面所获取的光电子能量的分布信息便是光电子能谱。XPS对化学分析最为有用，故又叫做化学分析用电子能谱法（ESCA）。