特征辐射
高速电子击脱靶原子的内壳层轨道（K层）电子，当外壳层（L或M）电子跃迁填充空位时，其多余的能量以X线的形式放出，此即特征辐射或称特性x线（characteristicx-radiation）。由于特性X线是在原子内层轨道电子跃迁中产生的。特性x线的波长取决于跃迁的电子能量差，与管电压无直接关系，它决定于靶物质的原子序数。