洁净室

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洁净室英文名:Cleanroom)是指一个具有极低水平环境污染物的受控环境。

概述

洁净室通过使用高效空气过滤器(HEPA)来控制空气中的微粒。人员进入洁净室通常需要穿戴洁净服以减少污染。

洁净度标准

目前国际上通用的标准是 ISO 14644

ISO 14644-1 标准表

等级 0.1μm 0.5μm 5.0μm
ISO 5 100,000 3,520 29
ISO 7 不计 352,000 2,930

参考文献